CNC精密零配件加工的特點

     超精密零配件加（jiā）工方法的特點是對外表層物質去除或添加的量能夠（gòu）作極細微的控製（zhì）。但是要獲得cnc超精密零（líng）件加工精度（dù），仍有賴（lài）於精密的加工設備和準確的克製係統（tǒng），並采（cǎi）用超精密掩膜作中介物（wù）。例如（rú）超大（dà）規模集成電路的製版即使采用電子束對掩膜上（shàng）的（de）光致抗蝕劑（見光刻）舉行曝射，使光致（zhì）抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解)，再用顯影劑把聚合過的（de）或未聚合過的部分溶解掉，製成掩膜。電子束曝射製版必要采用工作台定位精度高達±0.01微米的超精密加工設（shè）備。

    超精密零配件加工，主要有超精（jīng）密車削、鏡麵磨削和研磨等。在超精密車床上用通過（guò）精細研（yán）磨的單（dān）晶金剛石車刀舉行微（wēi）量車削,切削厚度僅（jǐn）1微米左右，常用於加（jiā）工有色金屬材料的球麵（miàn）、非球麵和平麵的反射鏡等（děng）高精（jīng）度、外（wài）表高（gāo）度光潔的零件。例如加（jiā）工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球麵反射鏡，高精度可達（dá）0.1微米，外表粗糙度（dù）為Rz0.05微米（mǐ）。